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主动隔振系统(电子显微镜、半导体设备专用)

主动隔振系统(电子显微镜、半导体设备专用)

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品牌:

TOKKYOKIKI

型号:

αL4X-911R1

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日本特许机器株式会社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界著名防振、消磁产品的制造商,世界上第一台主动式除振装置实用机由TOKKYOKIKI于1988年在日本半导体展示会上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究性能卓越,精密稳定,坚固耐用的防振产品、振动分析仪器和各行业防振设备,以满足各领域不同产业的不同需求。

       

αL4X-911R1主动式隔振平台是结合了空压(低频)和线性马达(高频)的两种优点,专为扫描电子显微镜而设计的高精密隔振平台。

本主动隔振系统可将影响仪器设备正常工作的安装场地的细微振动,在所有频率范围内予以全面衰减而不降低仪器设备本身具有的各项性能。


αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度传感器检测地板的振动,通过6自由度的反馈及前馈控制的双重主动控制,由气动和线性马达执行器来实现振动衰减,消除影响电子显微镜正常工作的安装场地的细微振动,满足电子显微镜厂商提供的允许振动值。

技术参数:

名称

技术参数和指标

主动隔振平台

标准外形尺寸:902×1102×152(浮起时155)mm

其他尺寸可定制

主动隔振单元

内含加速度传感器,位移传感器及空气伺服阀。

隔振范围

0.5Hz~100Hz

隔振效果(最大值)

0.5Hz~1Hz:≤-20dB

1Hz~10Hz:-20dB ≤-40dB

10Hz以上:≥ -40dB

加速度传感器

频率范围:DC-400Hz

最小分辨率:≤1*10-6m/sec2

最大耐冲击参数:1000m/sec2

位移传感器

最小分辨率:≤3um

行程范围:1-5mm

控制器

输入/输出控制信号采样频率

加速度:2000Hz 位移:125Hz

分辨率 输入:18bit  输出:16bit


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主动隔振系统(电子显微镜、半导体设备专用)
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