OPH-F系列真蜂窝气浮隔振光学平台

OPH-F系列真蜂窝气浮隔振光学平台整体分为台面、气浮隔振支架、气泵三部分。台面内部采用桁架式六角蜂窝结构设计，垂直粘接的三芯蜂窝，每个蜂窝单元都使用三重芯板接触面，确保了最高的刚度和最大的蜂窝芯与面板、底板粘合接触面积，极大提高了平台整体的粘接强度和性能，蜂窝芯密度：≥260kg/m3。每个螺纹孔下面都有一个高强度耐腐蚀的隔离杯（孔深~20mm），便于用户取回小零件或样品，同时也起到防水防尘等作用。上台面材料选用1Cr17高导磁不锈钢，具有很好的耐腐蚀性能。气浮式隔振腿采用先进的膜式空气弹簧，内部采用二级气室隔离，高阻尼小孔，隔振性能良好，稳定性高，自动平衡，自动充气，全部气动执行元件采用进口产品。  

主要应用于微纳器件测量、精密仪器设备、精密光学测量、超快光谱实验、高分辨成像、激光干涉实验、光刻机等对振动有非常高要求的仪器设备等。

技术参数：

· 水平方式：自动充气，自动平衡

· 固有频率(空载)：1～2Hz（垂直），1～1.8Hz（水平）

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

                    垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重复定位精度：±0.10mm

· 台面材料：SUS430（1Cr17）高导磁不锈钢，不易生锈

· 台面内部结构：桁架式蜂窝芯结构，蜂窝芯密度：≥260kg/m³

· 台面厚度：100/150/200/250/300/400mm

· 平面度：≤0.1mm/m²

· 台面粗糙度：0.6~1.5μm

· 气浮支架：双层气室，3个进口真空管水平调节阀，高稳定四或六支撑腿；

                    每个气浮腿上面都配有气囊装置限位保护器，延长气囊使用寿命

· 无油静音气泵：噪音＜50db

· 总高度~800mm，总高度可调范围：~±10mm

· 孔间距：25×25mm（机械打孔）

· 孔径：M6螺纹孔

细节图：

                        进口水平调节机构                                                      台面真蜂窝结构                                气囊限位/保护装置                    滑动脚轮

侧面图：

选型表：

部分客户案例：

松山湖材料实验室（规格：4500*1500*800mm）

上海微系统所（规格：2000*1200*800mm）