OPH-F系列真蜂窝气浮隔振光学平台

OPH-F系列真蜂窝气浮隔振光学平台是我司隔振平台系列中隔振效果最好的科研级气浮隔振光学平台，主要应用于高分辨显微成像、精密光学测量、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等对振动有非常高要求的仪器设备等。整套隔振系统分为台面、气浮支架、气泵三部分。台面采用桁架式蜂窝芯设计，每个蜂窝单元都使用三重芯板接触面，确保了较高的刚度和较大的蜂窝芯与面板、底板粘合接触面积，极大提高了整体平台的粘接强度和性能；每个螺纹孔下面都有一个隔离杯，便于用户取回小零件或小样品，同时也起到防水防尘等作用。上台面材料选用SUS430高导磁不锈钢，具有很好的耐腐蚀性能。气浮式支架采用隔振效果良好的膜式空气弹簧，支撑腿内部采用二级气室隔离，高阻尼小孔，隔振性能良好，稳定轻松调节，结构稳定可靠。自动平衡，自动充气全部气动执行元件采用进口产品。

技术参数：

· 水平方式：自动充气，自动平衡

· 固有频率：1～1.8Hz

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

                    垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重复定位精度：±0.10mm

· 台面材料：SUS430（1Cr17）高导磁不锈钢，不易生锈

· 台面内部结构：桁架式蜂窝芯结构，蜂窝芯密度：≥250kg/m³

· 台面厚度：100/200/250mm

· 平面度：0.05~0.1mm/m²

· 台面粗糙度：0.8~1.5μm

· 气浮支架：双层气室，3个进口真空管水平调节阀，高稳定四或六支撑腿；

                    每个气浮腿上面都配有气囊装置限位保护器，延长气囊使用寿命

· 无油静音气泵：噪音＜46db，0.2-0.4MPa

· 总高度~800mm，总高度可调范围：~±20mm

· 孔间距：25mm（机械打孔）

· 孔径：M6螺纹孔

细节图：

                        进口水平调节机构                                                      台面真蜂窝结构                                气囊限位/保护装置                    滑动脚轮

侧面图：

选型表：

部分客户案例：

松山湖材料实验室（规格：4500*1500*800mm）

上海微系统所（规格：2000*1200*800mm）