OPH-F系列真蜂窝气浮隔振光学平台整体分为台面、气浮隔振支架、气泵三部分。台面内部采用桁架式六角蜂窝结构设计,垂直粘接的三芯蜂窝,每个蜂窝单元都使用三重芯板接触面,确保了最高的刚度和最大的蜂窝芯与面板、底板粘合接触面积,极大提高了平台整体的粘接强度和性能,蜂窝芯密度:≥260kg/m3。每个螺纹孔下面都有一个高强度耐腐蚀的隔离杯(孔深~20mm),便于用户取回小零件或样品,同时也起到防水防尘等作用。上台面材料选用1Cr17高导磁不锈钢,具有很好的耐腐蚀性能。气浮式隔振腿采用先进的膜式空气弹簧,内部采用二级气室隔离,高阻尼小孔,隔振性能良好,稳定性高,自动平衡,自动充气,全部气动执行元件采用进口产品。
主要应用于微纳器件测量、精密仪器设备、精密光学测量、超快光谱实验、高分辨成像、激光干涉实验、光刻机等对振动有非常高要求的仪器设备等。
技术参数:
· 水平方式:自动充气,自动平衡
· 固有频率(空载):1~2Hz(垂直),1~1.8Hz(水平)
· 隔振效率:水平隔振88%-95%@5Hz,90%-95%@10Hz;
垂直隔振85%-90%@5Hz,90%-95%@10Hz
· 重复定位精度:±0.10mm
· 台面材料:SUS430(1Cr17)高导磁不锈钢,不易生锈
· 台面内部结构:桁架式蜂窝芯结构,蜂窝芯密度:≥260kg/m3
· 台面厚度:100/150/200/250/300/400mm
· 平面度:≤0.1mm/m2
· 台面粗糙度:0.6~1.5μm
· 气浮支架:双层气室,3个进口真空管水平调节阀,高稳定四或六支撑腿;
每个气浮腿上面都配有气囊装置限位保护器,延长气囊使用寿命
· 无油静音气泵:噪音<50db
· 总高度~800mm,总高度可调范围:~±10mm
· 孔间距:25×25mm(机械打孔)
· 孔径:M6螺纹孔
细节图:

进口水平调节机构 台面真蜂窝结构 气囊限位/保护装置 滑动脚轮
侧面图:

选型表:
型号 | 规格(mm) | 台面厚度(mm) | 最大载荷(Kg) |
OPH-F-0906 | 900×600×800 | 100 | 150 |
OPH-F-1209 | 1200×900×800 | 100 | 190 |
OPH-F-1510 | 1500×1000×800 | 200 | 550 |
OPH-F-1512 | 1500×1200×800 | 200 | 550 |
OPH-F-1609 | 1600×900×800 | 200 | 550 |
OPH-F-1812 | 1800×1200×800 | 200 | 650 |
OPH-F-2012 | 2000×1200×800 | 200 | 720 |
OPH-F-2015 | 2000×1500×800 | 200 | 750 |
OPH-F-2412 | 2400×1200×800 | 200 | 750 |
OPH-F-2418 | 2400×1800×800 | 200 | 800 |
OPH-F-2515 | 2500×1500×800 | 200 | 900 |
OPH-F-3012 | 3000×1200×800 | 250 | 1100 |
OPH-F-3015 | 3000×1500×800 | 300 | 1300 |
OPH-F-4015 | 4000×1500×800 | 300 | 1300 |
OPH-F-4515 | 4500×1500×800 | 300 | 1200 |
※如有其它尺寸需要,请联系我们 |
部分客户案例:
松山湖材料实验室(规格:4500*1500*800mm)

上海微系统所(规格:2000*1200*800mm)
