H400V-PM可单独使用,也可搭配显微镜/显微光谱(光电)系统使用。其可在 -190℃ ~ 400℃ 范围内控温,同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔,亦可内充入氮气等保护气体,来防止样品在负温下结霜,或高温下氧化。
温控参数:
温度范围:-190℃~400℃(-190℃~600℃,30℃~1000℃可选)
传感器/温控方式:100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源)
加热/制冷速率:30℃/min(@100℃)
温控速度:±0.01℃/min
温度分辨率:0.01℃
温度稳定性:±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)
软件功能:可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线
电学参数:
探针:默认为铼钨材质的弯针探针(可选其他种类探针)
探针座:杠杆式探针支架,点针力度更大,电接触性更好
点针:手动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口:默认为BNC接头,可选三同轴接口
*可增设腔内接线柱(样品接电引线)
样品台面电位:默认为电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口
光学参数:
适用光路:反射光路(*另有透射光路型号)
窗片:可拆卸与更替的窗片
物镜工作距离:8.5mm
上盖窗片观察:窗片范围φ38mm,视角±60.7°
负温下窗片除霜:吹气除霜管路
结构参数:
放样:打开上盖后置入样品再点针,关上盖后无法移动探针
气氛控制:可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用
外壳冷却:可通循环水,以维持外壳温度在常温附近
安装方式:水平安装 或 垂直安装
台体尺寸/重量:180 mm x 130 mm x 27 mm / 1600g
※ 可直接固定在WITec拉曼光谱仪上实现高低温光电流成像及原位高低温拉曼成像。
典型应用:
微区光电流测试,表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试...